از مراحل استفاده کنید پوشش PVD تجهیزات

قبل از استفاده، هر کلید برق و دکمه عملکرد باید در موقعیت خاموش باشد و منبع آب، منبع گاز و منبع برق را وصل کنید.

1. کلید برق کنترل خلاء را روشن کنید.

2. پمپ تعمیر و نگهداری را روشن کنید تا خلاء کم به پمپ انتشار پمپ شود و درجه خلاء مرحله جلویی را اندازه بگیرید.

3. پس از رسیدن فشار پیش مرحله به 5*100، پمپ انتشار را برای گرمایش روشن کنید.

4. شیر باد را باز کنید، محفظه پوشش را باد کنید، درب محفظه پوشش را باز کنید، قطعه کار تمیز شده را نصب کنید و درب کوره را ببندید.

5. پس از یک ساعت کارکرد نرمال پمپ دیفیوژن، پمپ مکانیکی را روشن کرده و شیر پیش پمپاژ را باز کرده و محفظه خلاء را به صورت دستی تا 103*1 تخلیه کرده و سپس پمپ روتز را روشن کنید.

6. وقتی فشار به 3*100 رسید، شیر پیش پمپاژ را ببندید و شیر پیش مرحله را باز کنید. شیر پرتقویت را باز کنید و خلاء بالایی را به محفظه پوشش پمپ کنید.

7. هنگامی که فشار محفظه خلاء به 8 * 10-3 می رسد (مقدار فشار خاص با توجه به الزامات فرآیند تعیین می شود)، قطعه کار روشن می شود و تا مقدار تنظیم شده گرم می شود.

8. مراحل عملیات پوشش را شروع کنید.

9. روال عملیات پوشش به پایان می رسد.

10. دمای کوره را به زیر 100 درجه سانتیگراد کاهش دهید، شیر بادی را باز کنید و درب کوره را باز کنید تا قطعه کار خارج شود و قبل از استفاده از هر کوره، کوره را تمیز کنید.