برای تولید کنندگان تجهیزات خلاء، فناوری پوشش خلاء به طور گسترده در توسعه انرژی، بسته بندی، الکترونیک، اپتیک، علوم سطح و تحقیقات علمی استفاده شده است. روش های مورد استفاده در پوشش خلاء عمدتاً شامل آبکاری تبخیری، آبکاری کندوپانی، آبکاری یونی، آبکاری رسوب پرتو و اپیتاکسی پرتو مولکولی است. همچنین رسوب بخار شیمیایی وجود دارد. اگر هدف از پوشش خلاء تغییر خواص فیزیکی و شیمیایی سطح مواد باشد، این فناوری بخش مهمی از فناوری تصفیه سطح خلاء است. اکنون معرفی مختصری در مورد چند مورد از کاربردهای اصلی آن ارائه شده است.
اول از همه، از نظر اپتیکی، یک قطعه شیشه نوری یا سطح کوارتز می تواند به شدت بازتابنده یا غیر بازتابنده (یعنی پوشش ضد انعکاس) شود یا پس از پوشش دادن یک یا چند لایه از مواد مختلف، به هر نسبت دلخواه منعکس شود. دستگاه پوشش نور دوبلر. یا مواد انتقال دهنده را می توان به یک فیلتر رنگی تبدیل کرد که طول موج خاصی را جذب کرده و طول موج دیگری را ارسال می کند. فیلم بازتابی بالا دستگاه روکش تک در عمودی از تلسکوپ های نجومی با قطر بزرگ و لیزرهای مختلف شروع می شود و به پوشش پنجره بزرگ ساختمان های جدید می رسد. پوشش های ضد انعکاس به طور گسترده ای در عکاسی و لیزرهای مختلف استفاده می شود، تا شیشه های با پوشش پنجره های بزرگ در ساختمان های جدید. پوشش های ضد انعکاس به طور گسترده در لنز دوربین ها و دوربین های تلویزیون استفاده می شود.
از نظر اجزاء، تبخیر نیکل کروم، کروم یا سرمت در خلاء می تواند مقاومت ایجاد کند. تبخیر آلومینیوم، مونوکسید سیلیکون، دی اکسید تیتانیوم و غیره بر روی ماشین های پوشش پلاستیکی می تواند خازن بسازد. تبخیر سلنیوم میتواند کارتریجهای تونر را برای دستگاههای کپی الکترواستاتیک دریافت کند، عناصر صوتی مغناطیسی تنگ کننده مغناطیسی تبخیر باریم تیتانات و موارد مشابه را میتوان تولید کرد. پوشش تبخیر خلاء همچنین میتواند برای تولید فیلمهای ابررسانا و پوششهای ریزدانه برای واکنشهای محصور شدن اینرسی استفاده شود. علاوه بر این، می تواند از دستگاه پوشش تبخیر برای تبخیر فیلم های تزئینی روی سطح جواهرات، روکش ساعت، نقوش فلزی نساجی، نخ های طلا و نقره و غیره استفاده کند و از دستگاه پوشش دهی برای ساخت فیلم های فوق سخت روی ابزار و قالب استفاده کند. .
در الکترونیک، پوشش خلاء جایگاه بسیار مهمی را اشغال می کند. مدارهای جانشینی در همه اندازه ها. فیلم رسانا، فیلم عایق و فیلم محافظ باید در حافظه، واحد حسابی و عناصر منطقی گفتن استفاده شود. یک فیلم کروم به عنوان ماسک برای ساخت مدارها استفاده می شود. نوارهای مغناطیسی، دیسکهای مغناطیسی، لیزرهای نیمهرسانا، دستگاههای جوزفسون و دستگاههای متصل به شارژ (CCD) نیز از لایههای نازک مختلفی استفاده میکنند. از نظر دستگاه های نمایشگر، هدهای مغناطیسی ویدئویی، نوارهای ویدئویی با چگالی بالا، فیلم های رسانای شفاف دستگاه های نمایشگر صفحه تخت، فیلم های راهنمای نور لوله های دوربین و پوشش های آلومینیومی صفحه های فلورسنت لوله های نمایشگر نیز توسط دستگاه های پوشش خلاء تهیه می شوند.