طبقه بندی ماشین های پوشش یون خلاء چیست؟- Ningbo Honyu Vacuum Technology Co., Ltd.

که در دستگاه پوشش خلاء به طور گسترده ای در زندگی استفاده می شود، زیرا غیر آلاینده است، دارای مزایای سرعت رسوب سریع، سرعت یونیزاسیون بالا، انرژی یونی زیاد، عملیات ساده تجهیزات، هزینه کم و غیره است، بنابراین مورد علاقه بسیاری از مشاغل و سپس خلاء آن است. اصل پوشش یونی دستگاه پوشش چیست؟ اجازه دهید به طور مفصل به شما معرفی کنم:

فیلم ها در خلاء آماده می شوند که شامل آبکاری فلز کریستالی، نیمه هادی، عایق و دیگر فیلم های عنصری یا ترکیبی می شود. اگرچه در رسوب گیری بخار شیمیایی از روش های خلاء مانند کاهش فشار، فشار کم یا پلاسما نیز استفاده می شود، پوشش خلاء به طور کلی به رسوب لایه های نازک با روش های فیزیکی اشاره دارد. سه شکل پوشش خلاء وجود دارد که عبارتند از پوشش تبخیری، پوشش کندوپاشی و پوشش یونی.

آبکاری یونی استفاده از تخلیه گاز یا یونیزاسیون جزئی مواد تبخیر شده در محفظه خلاء است و همزمان با بمباران یون های گاز یا ذرات مواد تبخیر شده، مواد یا واکنش دهنده های تبخیر شده بر روی بستر رسوب می کنند. آبکاری یونی به طور ارگانیک پدیده تخلیه درخشش، فناوری پلاسما و تبخیر خلاء را ترکیب می کند که نه تنها کیفیت فیلم را به طور قابل توجهی بهبود می بخشد، بلکه دامنه کاربرد لایه های نازک را نیز گسترش می دهد. از مزایای آن می توان به چسبندگی فیلم قوی، پراش خوب و طیف گسترده ای از مواد فیلم اشاره کرد. انواع مختلفی از پوشش های یونی وجود دارد و روش های درمانی منابع تبخیر شامل گرمایش مقاومتی، گرمایش با پرتو الکترونی، گرمایش پرتو الکترونی پلاسما، گرمایش القایی با فرکانس بالا و غیره است.

با این حال، آبکاری یونی چند قوس بسیار متفاوت از آبکاری یونی عمومی است. آبکاری یونی چند قوس از تخلیه قوس به جای تخلیه درخشان آبکاری یونی سنتی برای رسوب استفاده می کند. به بیان ساده، اصل آبکاری یونی چند قوسی این است که از هدف کاتدی به عنوان منبع تبخیر استفاده شود و از طریق تخلیه قوس بین هدف و پوشش آند، ماده مورد نظر تبخیر می شود و در نتیجه پلاسما در فضا تشکیل می شود و رسوب می کند. بستر.