ترکیب دستگاه پوشش خلاء چیست- Ningbo Honyu Vacuum Technology Co., Ltd.

این دستگاه پوشش خلاء چند منظوره یک تجهیزات ترکیبی از کندوپاش مگنترون، چند قوس یونی و پوشش تبخیر است. این دستگاه به یک هدف استوانه ای یا یک هدف مگنترون مسطح بر اساس دستگاه پوشش یونی چند قوس مجهز شده است. این تجهیزات دارای نرخ یونیزاسیون بالایی از آبکاری یونی هستند. ویژگی های سرعت رسوب بالا، و همچنین دارای مزایای دمای پایین و پایداری کندوپاش مگنترون، مناسب برای آبکاری فیلم های کامپوزیتی مختلف است.

دستگاه پوشش خلاء چند منظوره - مگنترون، فرکانس متوسط، معرفی خاص پوشش یونی چند قوس:

① تجهیزات مخلوط کردن تعرق و کندوپاش مگنترون: چند منظوره، مناسب برای تولید انبوه و سازگاری قوی.

②کاربرد مخلوط کندوپاش مگنترون و آبکاری یونی چند قوس: چند قوس می تواند کیفیت تمیز کردن پوسته را بهبود بخشد و نیروی پیوند بین فیلم و بستر را افزایش دهد. کار همراه با کندوپاش مگنترون، می تواند فیلم کامپوزیت را تشکیل دهد (تمیز کردن و فعال شدن توسط منبع یونی با انرژی بالا، و سرعت تشکیل فیلم سریع است).

③ استفاده ترکیبی از چندین جفت اهداف کندوپاش مگنترون فرکانس متوسط و آبکاری یونی قوس ستونی: هدف فرکانس میانی پایدارتر است (مانند Al)، با نرخ یونیزاسیون بالا، سرعت انباشت سریع و تشکیل فیلم یکنواخت. کندوپاش واکنشی با فرکانس متوسط، مانند آبکاری SiO2 و TiO2، برای پوشش دهی چندین لایه از مواد خام مختلف به طور همزمان استفاده می شود.

④ کاربرد ترکیبی RF، DC، IF و قوس ستون: RF می تواند مستقیماً فیلم محافظ عایق SiO2/Ag/SiO2 را بپوشاند.

⑤ استفاده مختلط از قوس استوانه ای، فرکانس متوسط و قوس چندگانه: قوس استوانه ای نرخ یونیزاسیون بالا را تضمین می کند، نسبت تجمع ذرات بزرگ را کاهش می دهد و اثر نیروی اتصال خوب و پرداخت سطح خوب را به دست می آورد. دستگاه روکش وکیوم چند کاره مناسب برای کالاهای سطح متوسط و بالا مانند بند ساعت، قاب ساعت، قاب عینک، کیف گوشی موبایل، تجهیزات گلف، لوازم بهداشتی، لوازم جانبی و غیره می باشد.3