تاثیر آلودگی سطح کاتد پوشش یونی کاتدی چند قوس چیست؟- Ningbo Honyu Vacuum Technology Co., Ltd.

تحت شرایط تخلیه یکسان از کاتدهای چند قوس (مانند همان ولتاژ احتراق قوس الکتریکی، همان اتمسفر کاری و همان درجه خلاء و غیره)، کاتدهای پوشش داده شده با یون با سطوح بسیار تمیز (مانند کاتدهایی که سوخته اند) در هنگام احتراق قوس نسبتاً تمیز هستند. مشکل است، اما ضربه زدن به یک کاتد چند قوس با آلودگی روی سطح آسان است (به عنوان مثال، سطح کاتد با خاک پوشیده شده است).

بدیهی است که وقتی سطح کاتد پوشش دهنده یونی کاتد چند قوس آلوده باشد، احتمال انتشار الکترون روی سطح بیشتر خواهد بود. به طور کلی، کثیفی خود حاوی اجزای مختلفی است، برخی از عناصر به راحتی الکترون ساطع می کنند و از سوی دیگر، کاهش عملکرد الکترون ها در سطح کاتد آلوده نیز بیشتر باعث انتشار الکترون می شود. منابع هدف کاتدی (به ویژه اهداف جدید) تجهیزات چند قوس معمولاً حاوی آلودگی اولیه (مانند اکسیژن جذب شده و غیره) روی سطح هستند. از آنجایی که اکسیژن می‌تواند تعداد زیادی الکترون از خود ساطع کند، قوس اولیه بیشتر در مکان‌های آلوده رخ می‌دهد تا زمانی که آلودگی سطحی تبخیر شود. تبخیر هدف معمولی تنها پس از اتمام شروع می‌شود.

بنابراین، در طول فرآیند مونتاژ منبع هدف دستگاه پوشش یونی کاتدی چند قوس، باید اطمینان حاصل شود که مونتاژ در حالت تمیز انجام می شود و سطح هدف چند قوس کاتد، به خصوص غیر سطوح تبخیری مانند سطوح جانبی، پایه های کاتد و سپرها نباید آلوده شوند. برای جلوگیری از ایجاد قوس بر روی سطح غیر تبخیر، و بهبود پایداری و قابلیت اطمینان عملیات منبع هدف. علاوه بر این، تعداد زیاد سوراخ های کوچک روی سطح کاتد نیز می تواند باعث اختلال جدی در پایداری احتراق قوس شود.