این دستگاه پوشش خلاء کندوپاش مگنترون از اجزای بسیاری تشکیل شده است که هر کدام کاربرد منحصر به فرد خود را دارند و ضروری هستند. دستگاه پوشش خلاء کندوپاش مگنترون از یک سیستم خلاء، یک سیستم سنتی، یک سیستم گرمایش، یک سیستم خنک کننده، یک سیستم توزیع هوای فرآیند و یک سیستم کندوپاش مگنترون تشکیل شده است.

سیستم خلاء: تجهیزات سیستم خلاء در منطقه محفظه خلاء متمرکز شده است، متشکل از تجهیزات پمپاژ (پمپ مکانیکی، پمپ ریشه، پمپ مولکولی)، تجهیزات تست (سنج مقاومت، یونیزاسیون، گیج غشایی)، شیر ایمنی (دریچه دروازه حفره، پمپ مولکولی) شیر فلپر، پمپ پره دوار، شیر خود پرایمینگ، شیر خط لوله و شیر شکن هوا). از طریق پمپ پره دوار > پمپ ریشه > پمپاژ رله پمپ مولکولی، فشار در محفظه از اتمسفر به خلاء تغییر می کند و در حفظ محیط خلاء مناسب برای تولید در طول فرآیند تولید.

اصل کار پمپ خلاء پره دوار، پمپ پره دوار از استاتور، روتور، پره دوار، پوشش ثابت، فنر و سایر قطعات تشکیل شده است. ساختار آن برای استفاده از روتور خارج از مرکز نصب شده در حفره میخ (دایره بیرونی روتور مماس با سطح داخلی استاتور است و فاصله بین این دو بسیار کم است) و دو روتور که در شکاف روتور لغزنده می شوند و با کشش فنر و نیروی گریز از مرکز به دیواره داخلی استاتور بچسبید. هنگامی که روتور می چرخد، همیشه در امتداد دیواره داخلی استاتور می لغزد.

در وکیوم گیج ترموکوپل جریانی با شدت ثابت به صورت سیم داغ از سیم پلاتین عبور می کند. پس از رسیدن به تعادل حرارتی، توان حرارتی ارائه شده توسط جریان برابر با توان از دست رفته از طریق تابش گرمای فضا، هدایت حرارتی فلز و رسانش حرارت مولکولی گاز است. بنابراین دمای سیم داغ به طور منظم با درجه خلاء تغییر می کند.

گیج پیرانی را وکیوم گیج مقاومت حرارتی می نامند که اصل کار آن مشابه گیج خلاء ترموکوپل است. گیج خلاء بالا که اغلب همراه با گیج ترموکوپل استفاده می شود، یونیزاسیون نامیده می شود و رایج ترین ابزار اندازه گیری در محدوده خلاء بالا است.

وکیوم گیج نوع فیلم خلاء نوعی گیج خلاء است که برای ایجاد جابجایی مکانیکی تحت تأثیر اختلاف فشار گاز به فیلم فلزی متکی است، بنابراین می توان از آن برای اندازه گیری فشار مطلق گاز استفاده کرد و نتیجه اندازه گیری ربطی به نوع گاز ندارد. .

وکیوم گیج ممبران دارای دو محفظه خلاء جدا شده است. زمانی که فشار در یک محفظه خلاء مشخص و فشار در محفظه خلاء دیگر نامشخص باشد، جابجایی غشا متناسب با اختلاف فشار بین دو محفظه خواهد بود. متناسب، به منظور بهبود دقت اندازه گیری، جابجایی فیلم با اندازه گیری تغییر در ظرفیت بین فیلم و الکترود فلزی دیگر به دست می آید.

در طیف گسترده ای، گیج خلاء لایه نازک خطی خوبی دارد و حد تشخیص آن در حدود 10-3pa است، که معادل تشخیص جابجایی لایه نازک تنها یک مقیاس اتمی است.

سیستم انتقال دستگاه پوشش خلاء کندوپاش مگنترون: سیستم سنتی در مجموع دارای 24 موتور محرکه است، 4 موتور برای هر سکوی بارگیری و تخلیه، 11 موتور برای منطقه فرآیند و 5 موتور برای بخش بازگشت. علاوه بر انتقال، بقیه الکترودها انتقال یک طرفه هستند.

DC Magnetron Sputtering Machine Coating Machine

بدنه کامل دستگاه با فولاد ضد زنگ با کیفیت بالا 304، طراحی آب خنک کننده دو لایه

چندین مجموعه از منابع قوس یونی جدید توسعه یافته به طور منطقی مجهز شده اند تا به طور موثر از پایداری و یکنواختی کندوپاش منبع قوس اطمینان حاصل کنند.

سیستم ورودی هوای چند کاناله برای کنترل دقیق جریان گاز برای پاسخگویی به نیازهای شما برای انواع فیلم های ترکیبی اتخاذ شده است.

همراه با فن آوری بایاس پالس، انرژی ذرات الکتریکی تا حد زیادی بهبود می یابد، به طوری که چسبندگی و پرداخت فیلم عالی به دست می آید.

این تجهیزات عمدتاً در موارد زیر استفاده می شود: محصولات سخت افزاری، صنایع دستی شیشه ای، صنایع دستی سرامیک، مانند محصولات حمام، ساعت و ساعت، چاقو، قالب، شیشه کریستال، ابزار گلف، لامپ، قاب شیشه، کاشی و سرامیک، کاشی کف و غیره.

مواد فرآیند: فولاد ضد زنگ، مس، آهن، آلیاژ روی، آلومینیوم، ABS، شیشه، سرامیک و غیره.

وضعیت سطح مواد فرآیند: سطح روشن آبکاری معمولی، سطح گنگ (نیمه گنگ، کامل گنگ)، چروک های آبکاری فرآیند، قلم مو، قطرات باران و غیره.

رنگ های آبکاری عبارتند از: شفاف، طلایی، نقره ای، رزگلد، مشکی، مشکی تیره، سبز، آبی، بنفش، رنگین کمان و غیره.