تحقق الزامات حفاظت از محیط زیست با
تکنولوژی پیشرفته و رفع نواقص آبکاری آب.
منشا دستگاه پوشش خلاء یونی چند قوس
در حال حاضر، بیشتر فیلمهای سخت با عملکرد مکانیکی (بهویژه فیلمهایی که برای ابزارهای برش استفاده میشوند) در جهان از فناوری رسوبگذاری قوس کاتدی استفاده میکنند. عملکرد برنامه؛ مشکل ذرات تجهیزات رسوب دهی قوس کاتدی که در داخل کشور تولید می شود بسیار جدی است. معرفی فناوری فیلتراسیون مغناطیسی بر اساس این فناوری می تواند مشکل ذرات رسوب شده روی سطح را حل کند، اما راندمان رسوب دهی تنها در حدود 1/10 اصلی است و سطح رسوب گذاری کوچک است، به طوری که چرخه تولید طولانی، هزینه ساخت بالا است و برای پوشش انبوه مناسب نیست. برنامه های کاربردی تولید سطح فیلم تهیه شده توسط فناوری کندوپاش مگنترون صاف و ظریف است، نرخ رسوب متوسط است و فیلم می تواند به طور یکنواخت در یک منطقه بزرگ قرار گیرد. با این حال، فناوری کندوپاش مگنترون نیز دارای نرخ یونیزاسیون پایینی است (معمولاً 10٪)، و فیلم تهیه شده از نظر سختی، مقاومت در برابر سایش و نیروی پیوند به خوبی فیلم تهیه شده توسط فناوری قوس کاتدی نیست. پوشش واکنش شیمیایی انجام می شود. (مانند TiN، TiO2)، به دلیل سرعت یونیزاسیون پایین و واکنش پذیری ضعیف ذرات فلزی، گاز واکنشی باید بیش از حد وارد شود که باعث مسمومیت (واکنش شیمیایی) سطح هدف مگنترون و ایجاد یک سری بهمن مانند تیز می شود. کاهش نرخ تبخیر در نتیجه، پوشش واکنشی کندوپاش مگنترون ناپایدار و غیرقابل کنترل است.
(1) دستگاه پوشش یونی چند منظوره طراحی شده با فناوری های پوشش چندگانه موفق است و عملکرد جامع سیستم پوشش ایجاد شده در موقعیت پیشرو در چین قرار دارد.
(2) این تجهیزات می تواند فیلم الماس مانند و فیلم چند لایه ترکیبی از نیتروژن (یا کربن) فلزی را با سطح صاف و متراکم، سطح صاف و ظریف و عملکرد عالی در منطقه بزرگ و کم هزینه تهیه کند.
(3) استفاده از یک لایه انتقال میانی گرادیان چند لایه ویژه و فناوری دوپینگ تنش داخلی را کاهش میدهد، نیروی پیوند لایه / بستر را بهبود میبخشد و برای رشد لایه فیلم (تا ضخامت 6 میلیمتر) مفید است.
(4) فیلم DLC تهیه شده دارای خواص جامع عالی است: سختی> 20 گیگا پاسکال (تا 37.25 گیگا پاسکال)، ضخامت قابل تنظیم (تا 6 میلی متر ضخامت)، نیروی پیوند فیلم/پایه> 50 نیوتن (تا 100 نیوتن)، ضریب اصطکاک <0.2، فیلم صاف و ظریف است
(5) ماتریس توسعه یافته / Cr / CrN / CrTiAlN / CrTiAlCN / CrTiC / DLC چند لایه مقاوم در برابر سایش و مقاوم در برابر حرارت پوشش خود روانکاری دارای خواص جامع خوبی است: سختی تا 28.7GPa است، ضخامت قابل تنظیم از 1-4 میلی متر، و فیلم نیروی پیوند پایه / بیشتر از 70N است و ضریب اصطکاک کمتر از 0.2 است.
(6) فیلم توسعه یافته مقاوم در برابر سایش و ضد اصطکاک با موفقیت در انواع قالب های با دقت بالا و اجزای کلیدی دقیق اعمال شده است. نتایج کاربرد نشان می دهد که اثر تقویت سطح لایه فیلم قابل توجه است که می تواند کیفیت محصول و عمر خدمات را تا حد زیادی بهبود بخشد.
آبکاری چند قوس یونی حالت های تخلیه گاز مختلف را در زمینه رسوب بخار در شرایط خلاء معرفی می کند. کل فرآیند رسوب بخار در فرآیند پلاسما انجام می شود. می توان آن را نه تنها روی سطح محصولات فلزی، بلکه روی سطح محصولات غیر فلزی نیز پوشش داد. می توان آن را با فیلم فلزی، نیترید تیتانیوم، کاربید تیتانیوم، نیترید زیرکونیوم، نیترید کروم، اکسید تیتانیوم و فیلم های دیگر آبکاری کرد.