ماشین آلات پوشش خلاء را می توان بر اساس صنعت طبقه بندی کرد- Ningbo Honyu Vacuum Technology Co., Ltd.

ماشین آلات پوشش خلاء را می توان با توجه به صنعت طبقه بندی کرد، مانند دستگاه های پوشش خلاء لنز، دستگاه های پوشش دهنده محصولات الکترونیکی، دستگاه های پوشش فیلتر و غیره همه متعلق به دستگاه های پوشش نوری هستند، مانند دستگاه های پوشش خلاء بسته بندی، دستگاه های پوشش خلاء ضد جعل، وکیوم سیم پیچ خازن ماشین آلات پوشش و غیره متعلق به دستگاه پوشش سیم پیچ هستند. مانند دستگاه پوشش خلاء یون چند قوس، دستگاه پوشش خلاء تزئینی سخت افزاری، دستگاه پوشش تبخیر با خلاء بالا، دستگاه پوشش وکیوم کاشی و سرامیک، متعلق به دستگاه پوشش یون تزئینی. اما بسیاری از افراد نیز بر اساس عملکرد کوره خلاء طبقه بندی می شوند

دستگاه پوشش وکیوم

با توجه به اصل لایه نازک، می توان آن را به پوشش کندوپاش، پوشش یونی، پوشش تبخیر و پوشش رسوب بخار شیمیایی تقسیم کرد. با توجه به هدف کاربرد، می توان آن را به پوشش نوری، پوشش سیم پیچ، پوشش تزئینی، پوشش لوله جمع کننده خورشیدی، پوشش ابزار، پوشش معماری، پوشش رسانا و غیره تقسیم کرد.

دستگاه پوشش تبخیر خلاء

تجهیزات پوشش تبخیری اولین تجهیزات پوشش با موفقیت در بین تمام تجهیزات پوشش در چین است. در دهه 1950 در چین با موفقیت توسعه یافت. انواع مختلفی از تجهیزات پوشش تبخیر وجود دارد، از جمله تجهیزات پوشش نوری برای پوشش فیلم های نوری، که عمدتا برای تجهیزات نوری، تجهیزات لیزری و تجهیزات میکروالکترونیک و غیره استفاده می شود، همچنین تجهیزات پوشش سیم پیچی ساخته شده با اصل پوشش تبخیر، مورد استفاده در دکوراسیون. ، بسته بندی تجهیزات الکترونیکی و سایر صنایع.

روکش اسپترینگ

هدف یونی به بیرون پراکنده شده و بر روی بستر قرار می گیرد تا یک لایه نازک تشکیل شود. تجهیزات پوشش کندوپاش می تواند فیلم های نازک مختلفی مانند فیلم رسانای ITO، فیلم دی الکتریک، فیلم نیمه هادی، فیلم فلزی، فیلم مغناطیسی، فیلم ابررسانا با دمای بالا، فیلم تک کریستال، فیلم تزئینی و غیره، آبکاری فیلم دیسک را پوشش دهد. فیلم شیشه ای دیوار پرده ای مورد استفاده در صنعت ساخت و ساز، فیلم خازن در صنعت الکترونیک، فیلم صاف جامد در وسایل نقلیه هوافضا، سلول خورشیدی در نیرو، و گاز، بسته بندی، فناوری مادون قرمز و بسیاری از صنایع دیگر.

روکش یونی

تجهیزات آبکاری یونی را می توان به آبکاری یونی قوس الکتریکی، آبکاری یونی تخلیه فرکانس رادیویی، آبکاری یونی کاتد توخالی و غیره تقسیم کرد. آبکاری یونی با سرعت رسوب سریع، کیفیت پوشش متراکم و چسبندگی خوب فیلم به دلیل اصل پوشش آن مشخص می شود. این به طور گسترده ای در ابزار، قالب ها و سایر صنایع استفاده می شود و می توان آن را با فیلم فلزی، فیلم سخت، فیلم طلای بدلی و غیره آبکاری کرد.

تجهیزات رسوب بخار شیمیایی

تجهیزات رسوب بخار شیمیایی یک روش واکنش شیمیایی برای ساخت فیلم است که می تواند برای پوشش لایه های محافظ سطح و مواد نیمه هادی و الکترونیکی استفاده شود.

تجهیزات حکاکی پرتو یونی

به عنوان یک فناوری پردازش فوق العاده ظریف در صنعت نیمه هادی، اچینگ با افزایش ادغام مدارهای مجتمع در مقیاس بزرگ، به یک دستگاه ضروری و مهم تبدیل شده است. در مقایسه با سایر فناوری‌های خوردگی شیمیایی، کندوپاش پلاسما و سایر فن‌آوری‌ها، فناوری حکاکی پرتو یونی انتخاب‌پذیری برای پردازش مواد ندارد، می‌تواند پردازش بسیار ظریف را انجام دهد و می‌تواند شیارهای بسیار ریز را حکاکی کند. لبه الگوی اچ شده واضح است و دقت بالایی دارد. . تجهیزات حکاکی پرتو یونی را می توان به انواع عمودی و افقی تقسیم کرد. سیستم خلاء تجهیزات داخلی عمدتاً مبتنی بر پمپ پراکندگی روغن و بافل آب خنک است و کشورهای خارجی اغلب از سیستم پمپاژ برودتی استفاده می کنند.

کوره خلاء

توسعه کوره های خلاء در چین در اواخر دهه 1950 آغاز شد. اولین کوره القایی خلاء 10 کیلوگرمی در سال 1958 در شن یانگ توسعه یافت و در سال 1960 مورد قضاوت قرار گرفت. در حال حاضر انواع زیادی از کوره های خلاء در چین تولید می شوند که می توان آنها را به طور تقریبی به کوره های متالورژی و کوره های عملیات حرارتی تقسیم کرد. از جمله کوره های متالورژی عبارتند از: کوره مقاومت در خلاء، کوره تف جوشی خلاء، کوره قوس الکتریکی خلاء، کوره القایی خلاء، کوره تک کریستال و تجهیزات لحیم کاری خلاء و غیره. کوره عملیات حرارتی خلاء شامل: کوره خاموش کننده خلاء، کوره تمپرینگ، کوره بازپخت، کوره کربورسازی، کوره نیتریدینگ یون درخشان و غیره است.

کوره مقاومت در برابر خلاء

کوره های مقاوم در برابر خلاء از مقاومت در برابر حرارت قطعه کار یا مواد در شرایط خلاء استفاده می کنند. عمدتاً برای بازپخت و گاز زدایی خلاء فلزات زنده، نامحلول یا برخی از آلیاژهای مغناطیسی استفاده می شود. انواع مختلفی از کوره های مقاومتی وجود دارد که با توجه به روش های مختلف می توان آنها را به گرمایش عمودی، افقی، گرمایش داخلی، گرمایش خارجی و غیره تقسیم کرد.

کوره پخت خلاء

کوره تف جوشی خلاء عمدتاً برای پخت کاربید سیمانی، مواد سرامیکی، مواد مغناطیسی، مواد نسوز کمیاب، محصولات پودر فلز، اجزای نوری الکترونیکی و سایر مواد استفاده می شود. اطلاعات در مورد عملیات پخت متفاوت است. انواع کوره های پخت خلاء شامل کوره های تف جوشی با دمای بالا تا 2000 ℃ و کوره های پخت خلاء بالا با درجه خلاء بالاتر است.

کوره قوس خلاء

کوره قوس خلاء از قوس تولید شده توسط تخلیه قوس برای ذوب قطعه کار یا مواد استفاده می کند. می توان از آن برای آسیاب زیرکونیوم و فلزات نامحلول به همراه روش مس استفاده کرد. انواع کوره های قوس الکتریکی وکیوم را می توان به کوره های مصرفی، کوره های غیر مصرفی و کوره های پوسته چگالشی و ... تقسیم کرد.

کوره القایی خلاء

کوره القایی خلاء از القای الکترومغناطیسی برای گرم کردن بوته در کوره استفاده می کند و فلزات و آلیاژها را در حالت خلاء ذوب می کند. می تواند آلیاژهای ریز، مواد مغناطیسی، فلزات فعال و فلزات نامحلول را ذوب کند.

ماشین آلات پوشش خلاء بر اساس عملکرد کوره های خلاء طبقه بندی می شوند و اکثر آنها بر اساس صنعت طبقه بندی می شوند. اما از نظر واحدهای صنعتی و طبقه بندی شده توسط کوره های خلاء تعداد بیشتری وجود دارد.

دستگاه آبکاری خلاء PVD تزئین جام سرامیک

آبکاری چند قوس یونی حالت های تخلیه گاز مختلف را در زمینه رسوب بخار در شرایط خلاء معرفی می کند. کل فرآیند رسوب بخار در فرآیند پلاسما انجام می شود. می توان آن را نه تنها روی سطح محصولات فلزی، بلکه روی سطح محصولات غیر فلزی نیز پوشش داد. می توان آن را با فیلم فلزی، نیترید تیتانیوم، کاربید تیتانیوم، نیترید زیرکونیوم، نیترید کروم، اکسید تیتانیوم و فیلم های دیگر آبکاری کرد.